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真空泵機組，是以羅(luó)茨真空泵為主泵，螺杆(gǎn)真空泵為前級泵的抽氣系統，此機組(zǔ)過流(liú)部分沒有任何液體作工(gōng)作液，壓力不受水溫影響，對被抽工藝氣體不(bú)産生二次污染，便于排出氣體的回收。
由于螺杆真空機組(zǔ)具有大抽氣量、高真空度、環保節能的優點，是目(mù)前國(guó)際上光為應用的真空設備。
主要技術參數:
規格型(xíng)号 技術參數 | JZSP70-2 | JZSP150-2 | JZSP300-2 | JZSP600-2 | JZSP1200-4.2 |
抽氣速率（L/S） | 70 | 150 | 300 | 600 | 1200 |
壓力(Pa) | ﹤0.5 | ﹤0.5 | ﹤0.5 | ﹤0.5 | ﹤0.1 |
前級泵 | SP-30 | SP-70 | SP-180 | SP-180/300 | ZJY300/SP180 |
主泵 | ZJ70 | ZJY150 | ZJY300 | ZJY600 | ZJY1200 |
電機功率（KW） | 5.1 | 9.7 | 22.5 | 24/35.5 | 33.5/45 |
進口通徑(mm) | 80 | 100 | 150 | 200 | 250 |
出口通徑(mm) | 40 | 50 | 65 | 65/85 | 65 |
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